一般来说，电容式角位移传感器由一组或若干组扇形固定极板和转动极板组成，为保证传感器的精度和灵敏度，同时避免因环境温度等因素的改变导致介电常数、极板形状等的间接变化，进而对传感器性能产生不利影响，对传感器的制作材料、加工工艺以及安装精度提出了较高要求，为了克服电容角位移传感器的局限性，国内外科学工作者进行了长期的大量研究工作，其主要思想方法是将传感器设计成差动结构。

传感器系统原理框图如图所示：

由敏感元件、测量电路、智能部件与接口部件构成，敏感元件的结构所示如图1,测量部件由选择单元、激励源和电荷检测单元组成；智能部件由I/O单元、A/D单元、滤波单元、角度计算单元等组成；接口部件由电流输出单元、RS232通讯单元等组成。敏感元件检测反映角度位置的电容值，是传感器的初始转换单元，测量单元采用了先进的抗杂散微小电容检测电路，将电容值转换为电信号，智能部件的主要功能是通过比例式算法计算出角位移量，最后由接口部件输出角度计算结果。